HEPA過(guò)濾器檢漏也稱為高效過(guò)濾器檢漏，方法有鈉焰法，油霧法，DOP法，MPPS法，阻力測(cè)試。，HEPA代表高效微粒空氣，HEPA過(guò)濾器是潔凈室的重要元素之一。它們由一個(gè)大型的箱形過(guò)濾器組成，可非常有效地去除特定尺寸的空氣中的顆粒。還必須定期對(duì)其進(jìn)行監(jiān)視和測(cè)試，以確保它們?nèi)匀皇?的。 

HEPA過(guò)濾器由無(wú)序排列的纖維氈組成，通常由直徑在0.5到2.0微米之間的玻璃纖維組成。影響功能的關(guān)鍵因素是纖維直徑，過(guò)濾器厚度和過(guò)濾器表面速度。

用于潔凈室和受控環(huán)境的高效顆粒空氣（HEPA）過(guò)濾器制造商測(cè)試其產(chǎn)品的顆粒去除效率。同樣，將設(shè)備安裝在用戶的生產(chǎn)現(xiàn)場(chǎng)后，應(yīng)立即執(zhí)行測(cè)試以驗(yàn)證過(guò)濾器和安裝的完整性。通常，HEPA過(guò)濾器可捕獲高達(dá)99.97％的小至0.3微米的顆粒。

分散油粒測(cè)試/完整性測(cè)試

分散油粒測(cè)試或完整性測(cè)試是一種測(cè)試程序，可確保HEPA過(guò)濾器滿足其效率規(guī)格并正確放置并密封在其框架中。

分散油粒（DOP）掃描測(cè)試（也稱為過(guò)濾器完整性測(cè)試或高效過(guò)濾性泄漏測(cè)試）是行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)中引用多的方法之一。建議定期進(jìn)行測(cè)試，以驗(yàn)證過(guò)濾器的持續(xù)效率。在測(cè)試過(guò)程中，過(guò)濾器面臨引入顆粒物和測(cè)量輸出的挑戰(zhàn)。

HEPA過(guò)濾器泄漏測(cè)試在各種標(biāo)準(zhǔn)中均已強(qiáng)制執(zhí)行，包括FDA工業(yè)指南：無(wú)菌加工生產(chǎn)的無(wú)菌藥品– cGMP和世界衛(wèi)生組織技術(shù)報(bào)告叢書，第961號(hào)。對(duì)于潔凈室檢測(cè)，ISO 14644-3標(biāo)準(zhǔn)提供進(jìn)一步的指導(dǎo)。

自1950年代以來(lái)使用的傳統(tǒng)氣溶膠光度測(cè)試方法足以通過(guò)DOP掃描測(cè)試進(jìn)行0.003％的測(cè)量。為了進(jìn)行準(zhǔn)確的過(guò)濾器泄漏測(cè)試，必須確保所測(cè)試的過(guò)濾器的整個(gè)上游面的氣溶膠濃度均勻。這稱為空間均勻性。否則，高或低的局部濃度可能會(huì)導(dǎo)致過(guò)濾器錯(cuò)誤地通過(guò)測(cè)試或失敗。ISO 14644-3建議，測(cè)試氣溶膠濃度隨時(shí)間的變化不應(yīng)超過(guò)±15％。應(yīng)當(dāng)驗(yàn)證過(guò)濾器上游挑戰(zhàn)的均勻性。

如果無(wú)塵室套件是測(cè)試的目標(biāo)，則在空氣處理單元（AHU）之后立即注入挑戰(zhàn)性氣霧劑。當(dāng)空氣到達(dá)過(guò)濾器時(shí)，測(cè)試顆粒在風(fēng)道內(nèi)充分混合，從而導(dǎo)致每個(gè)終端過(guò)濾器背面的濃度均勻。

如果不能在AHU之后立即注入氣霧劑，則必須將氣霧劑從過(guò)濾器中引入至少15至20的管道直徑。

可以使用三種類型的氣溶膠來(lái)測(cè)試潔凈室中的過(guò)濾器安裝。這些是：

• 冷氣溶膠
• 熱氣溶膠
• 微粒子

前兩個(gè)由油型液體形成。聚苯乙烯乳膠（PSL）于微電子應(yīng)用，而聚α烯烴（PAO）在生命科學(xué)中。表1中的信息描述了用于HEPA測(cè)試的典型挑戰(zhàn)氣霧劑。

 在開始過(guò)濾器掃描之前，有必要設(shè)置過(guò)濾器上游的測(cè)試氣溶膠顆粒濃度。ISO 14644-3標(biāo)準(zhǔn)建議，光度測(cè)試方法應(yīng)使用10µg / l和100µg / l的濃度范圍。這也表明低于20µg / l的濃度會(huì)降低靈敏度，而超過(guò)80µg / l的濃度會(huì)導(dǎo)致過(guò)濾器結(jié)垢。使用較低的推薦濃度，以降低堵塞或滲漏事件的可能性。

解決泄漏

后一個(gè)建議：如果發(fā)現(xiàn)HEPA過(guò)濾器中有泄漏，則解決問(wèn)題的方法是遵循建議的填充修補(bǔ)程序。IEST RP-CC034.2中的各個(gè)部分均規(guī)定：“填充修復(fù)不應(yīng)阻塞或限制過(guò)濾器表面積的額外3％，并且單個(gè)修復(fù)的尺寸都不應(yīng)超過(guò)3.8厘米（1.5英寸）。” 維修完成后，在適當(dāng)?shù)墓袒瘯r(shí)間后才能放置補(bǔ)丁，請(qǐng)檢查維修區(qū)域附近是否有泄漏。