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潔凈室塵埃粒子檢測培訓(xùn)資料(內(nèi)部版)

2021-09-23

無塵車間,也稱為潔凈室是保證半導(dǎo)體,太陽能電池等對環(huán)境要求較高的行業(yè)進(jìn)行批量生產(chǎn)所條件要求。(本篇不展開細(xì)菌微生物內(nèi)容)。

懸浮微粒:一般指懸浮于空氣中的固態(tài)和液態(tài)微粒,其顆粒尺寸范圍約在0.1-5μm之間。如油,屬于液體狀態(tài),也會形成微粒。

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潔凈度:用于表示單位體積空間內(nèi)空氣中所含微粒大小及數(shù)量多少,是區(qū)分空間潔凈程度的標(biāo)準(zhǔn)。

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高效空氣過濾器HEPA:在額定風(fēng)量下,對顆粒大于等于0.3μm粒子的捕集效率在99.9%以上,以及氣流阻力在250Pa以下的空氣過濾器。

測試采樣:

儀器:激光粒子計(jì)數(shù)器

采樣點(diǎn):潔凈室內(nèi)一般在離地面0.8m高度的水平面上均勻布置。

             潔凈室面積較小時,可以在離地面0.8m-1.5m高度的區(qū)域內(nèi)分層采樣。

采樣量:

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采樣分析,除了潔凈室環(huán)境空間外,如壓縮空氣中也會存在顆粒,壓縮空氣采集與普通環(huán)境相比,需要壓縮空氣采集器,可有效計(jì)算采集氣體量。


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